Halbleiterfertigungsmaterial Octafluoropropan

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Produkteigenschaften

Modell: Octafluoropropane

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Ort Von Zukunft: CHINA

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Produkteinführung

Octafluoropropan (C3F8) ist eine Art farbloser, geruchloser, nicht zahlbarer Inertgas. Sein Schmelzpunkt beträgt 183,0 ° C, der Siedepunkt beträgt 36,7 ° C, in Wasser schlecht löslich. Octafluoropropan elektronischer Grad wird in der Herstellung von Halbleitermaterialien und Halbleitervorrichtung verwendet. Die Mischung aus Octafluoropropan und Sauerstoff wird als Plasma -Ätzmaterial verwendet, das selektiv mit der Metallmatrix des Siliziumwafers interagieren kann.

Qualitätsspezifikation

项目 Items	单位 Unit	指标 Indexs
C3F8	Vol.%	≥99.999	≥99.9995
O2+Ar	Vol.ppm	＜1	＜0.5
N2	Vol.ppm	＜5	＜1
CO	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CF4	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
C2F6	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CH4	Vol.ppm	＜1	＜1
H2O	Vol.ppm	＜1	＜1
酸度Acidity (Mesured by HF)	Wt. ppm	＜0.1	＜0.1
总杂质含量 Total impurity content	Mol.ppm	≤10	≤5

Anwendung

In der Halbleiterindustrie wird Octafluoropropan als Plasmaetchmaterial verwendet. In der Medizin kann Octafluoropropan nach Vitreoretinaloperation als Füllstoff- und Kontrastmittel verwendet werden. Octafluoropropan wird auch als Zutat in Kühlmischungen verwendet.

Verpackung und Lagerung

Octafluoropropan wird mit besonderer Behandlung in sauberen und trockenen nahtlosen Zylindern gefüllt. Die Zylindervolumina betragen 4L, 8L, 10L, 12,5 l und 40 l usw. Die Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.

Produktgruppe : Halbleiterprozessmaterialien > Octafluoropropan -Halbleiterprozessmaterialien

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