Bieten Sie Stickstoff-Trifluorid, chemisches Reinigungsmittel, Fluor von energiereichem chemischem Lasergas aus dem chinesischen Hersteller an

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3 V Lithium -Manganbatterie
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Polymer Lithium Lon Batteriepack
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Fluorhaltige pharmazeutische Intermediate-Materialien
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Halbleiterprozessmaterialien
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China Stickstoff -Trifluorid -Halbleiterprozessmaterialien Lieferanten

Stickstoff -Trifluorid in der Mikroelektronikindustrie ist eine Art exzellentes Plasma -Ätzgas, das während des Plasmaketingprozesses in aktives Fluorion geknackt wird. Für die Plasmaköhe von Silizium und Siliziumnitrid weist unter Verwendung von Stickstofftrifluorid eine höhere Ätzrate und Selektivität auf als die Verwendung von Kohlenstoff -Tetrafluorid oder Kohlenstoff -Tetrafluorid und Sauerstoffmischgas, insbesondere bei der Ätzen integrierten Schaltungsmaterials mit weniger als 1,5 μm, und mit 1,5 & mgr; m. Stickstoff -Trifluorid hat eine hervorragende Ätzrate und Selektivität. Darüber hinaus gibt es keine Verschmutzung auf der Oberfläche von geätztem Material, es ist auch ein gutes Reinigungsmittel.