Qualitativ hochwertig hochwertige Hexafluorethan

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Produkteigenschaften

Modell: Hexafluoroethane

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Verkaufseinheiten:: Ton

Hexafluorethan (C2F6), auch als Perfluorethan bekannt, ist eine Art farbloser, geruchloser, nicht flammbarer Inertgas. Sein Schmelzpunkt beträgt 100,6 °, Siedepunkt beträgt 78,2 ℃, leicht löslich in Wasser. Aufgrund seiner ungiften, geruchlosen und hohen Stabilität wird Hexafluorethan im Halbleiterherstellungsprozess häufig verwendet. Hexafluorethan hat als trockenes Ätzmittel die Vorteile von sehr kleinem Kantenrading, hoher Ätzrate und hoher Genauigkeit, die den Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses für kleine Linienbreiten entsprechen können.

Hexafluorethan -Qualitätsspezifikation:

Items	单位 Unit	Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
Acidity（Measured by HF）	Wt. ppm	＜0.1
Total impurity content	Mol.ppm	≤10

Anwendung:

Hexafluorethan elektronischer Grad wird hauptsächlich im Herstellungsprozess von Halbleitermaterialien und Halbleiter -Geräten als Ätzmittel und Reinigungsmittel sowie Isolationsgas und Kühlmittel mit hoher Dielektrik -Festigkeit verwendet.

Verpackung und Lagerung:
Hexafluorethan wird mit besonderer Behandlung in sauberen und trockenen nahtlosen Zylindern gefüllt. Die Zylindervolumina betragen 4L, 8L, 10L, 12,5 l und 40 l usw. Die Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.

Produktgruppe : Halbleiterprozessmaterialien > Hexafluorethan -Halbleiterprozessmaterialien

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