Hexafluorethan (C 2 F 6 ), auch als Perfluorethan bekannt, ist eine Art farbloser, geruchloser, nicht entzündbarer Inertgas. Sein Schmelzpunkt beträgt 100,6 °, Siedepunkt beträgt 78,2 ℃, leicht löslich in Wasser. Aufgrund seiner ungiften, geruchlosen und hohen Stabilität wird Hexafluorethan im Halbleiterherstellungsprozess häufig verwendet. Hexafluorethan hat als trockenes Ätzmittel die Vorteile von sehr kleinem Kantenrading, hoher Ätzrate und hoher Genauigkeit, die den Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses für kleine Linienbreiten entsprechen können.
Qualitätsspezifikation
|
Items
|
Unit
|
Indexs
|
|
C2F6
|
Vol.%
|
≥99.999
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
H2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
Halohydrocarbon
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CH4
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
＜2
|
|
Acidity（Measured by HF）
|
Wt.ppm
|
＜0.1
|
|
Total impurity content
|
Mol.ppm
|
≤10
|
Anwendung
Hexafluorethan elektronischer Grad wird hauptsächlich im Herstellungsprozess von Halbleitermaterialien und Halbleiter -Geräten als Ätzmittel und Reinigungsmittel sowie Isolationsgas und Kühlmittel mit hoher Dielektrik -Festigkeit verwendet.
Verpackung und Lagerung
Hexafluorethan wird mit besonderer Behandlung in sauberen und trockenen nahtlosen Zylindern gefüllt. Die Zylindervolumina betragen 4L, 8L, 10L, 12,5 l und 40 l usw. Die Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.
Shandong Zhongshan Photoelactic Materials Co., Ltd. ist ein High-Tech-Unternehmen, das von Shandong Zhongshan Group Co., Ltd. investiert und gegründet wurde, das F & E, Pilottest und Industrialisierung integriert. Zhongshan Photoelektrische Materials Co., Ltd. hat ein Forschungs- und Entwicklungsteam von 200 Personen, hauptsächlich Professoren, Forscher, Postdocs, Ärzte, Meister und Studenten. Das Unternehmen hat nach mehreren Jahren der Entwicklung eine Reihe innovativer technologischer Leistungen erzielt. Es wurden mehr als 50 Patente angewendet, und in den letzten 3 Jahren wurden 30 Patente zur Erfindung genehmigt.
Das Unternehmen baut eine 5.000m2 F & E Pilot -Plattform, darunter eine Reihe vollständiger unterstützender Einrichtungen und fortschrittliche Funktionen von Test- und Pilotgeräten wie hochreinem Fluorgas, speziellen funktionellen fluorierten Kohlenstoffmaterialien, Halbleitermaterialien (hochreine elektronische Gas/ elektronische Chemikalien) , hohe spezifische Energiebatterie, Elektrolyte und Additive, thermische Batterie und verwandte Materialien, photoelektrische Materialien, stabile Isotope und seine derivativen Materialien, fluoridierte biomedizinische Materialien usw. Das Unternehmen kann eine Reihe innovativer Forschungs- und Entwicklungstests durchführen und Piloten für Piloten durchführen Verwandte Bereiche mit neuen Materialien und Ausrüstungen. Das Unternehmen hat ein fortschrittliches Analyse- und Testzentrum für F & E und die Produktion aller Projekte eingerichtet.
Gleichzeitig hat das Unternehmen die erste groß angelegte Produktionslinie von Fluorographen und funktionellem Fluorkohlenwasserstoff-Leistungsbewertungslabor auf der ganzen Welt errichtet und ist der einzige Hersteller, der zu Hause und zu Hause und zu Hause qualitativ hochwertiges Fluorographen in Massenproduktion und liefern kann bis jetzt im Ausland.
Contact Now
