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Perfluorobutadien -Halbleiterprozessmaterialien

Ätzmaterial für elektronische Schaltkreise Perfluorobutadiene

Einheitspreis: USD 9999 / Ton

Min.Order Einheitspreis
100 Ton USD 9999 / Ton

Produkteinführung Perfluorobutadien (C4F6) ist eine Art farbloser, geruchlos und Wasserunlöslicher Gas. Sein Schmelzpunkt beträgt 132,0 ℃, der Siedepunkt beträgt 5,9 ℃. Perfluorobutadien ist eine Art konjugierte Olefine, die sechs Fluoratome und...

China Perfluorobutadien -Halbleiterprozessmaterialien Lieferanten

Perfluorobutadien ist eine Art konjugierte Olefine, die sechs Fluoratome und zwei Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung als eine Art exzellentes Ätzgas enthält Das traditionelle perfluorinierte Sättigfluorkohlenstoff -Ätzgas und Perfluorobutadien kann weniger als 100 nm noch engerer elektronischer Schaltkreis ätzen. Darüber hinaus weist C4F6 ein höheres selektives Verhältnis von Photoresist- und Siliziumnitrid als das von C4F8 auf, das die Ätzstabilität, die Ätzrate und die Gleichmäßigkeit verbessern und somit die Produktqualität verbessern kann.

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