Ätzmaterial für elektronische Schaltkreise Perfluorobutadiene

$9999

≥100
Ton

Incoterm:

FOB,CIF,DDP

Minimum der Bestellmenge:

100 Ton

Kontaktieren jetzt

Produktbeschreibung

Produkteigenschaften
Lieferfähigkeit & Zusatzinformationen
Verpackung & Lieferung

< >

Overview

Produkteigenschaften

Modell: Perfluorobutadiene

Lieferfähigkeit & Zusatzinformationen

Ort Von Zukunft: CHINA

Incoterm: FOB,CIF,DDP

Verpackung & Lieferung

Verkaufseinheiten:: Ton

Produkteinführung

Perfluorobutadien (C4F6) ist eine Art farbloser, geruchlos und Wasserunlöslicher Gas. Sein Schmelzpunkt beträgt 132,0 ℃, der Siedepunkt beträgt 5,9 ℃. Perfluorobutadien ist eine Art konjugierte Olefine, die sechs Fluoratome und zwei Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung als eine Art exzellentes Ätzgas enthält Das traditionelle perfluorinierte Sättigfluorkohlenstoff -Ätzgas und Perfluorobutadien kann weniger als 100 nm noch engerer elektronischer Schaltkreis ätzen. Darüber hinaus weist C4F6 ein höheres selektives Verhältnis von Photoresist- und Siliziumnitrid als das von C4F8 auf, was die Ätzstabilität, die Ätzrate und die Gleichmäßigkeit verbessern und somit die Produktqualität verbessern kann.

Qualitätsspezifikation

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Anwendung

Wird als Ätzengas für die Plasma -Radierung von Halbleiterprodukten verwendet.

Verpackung und Lagerung

Perfluorobutadien wird in Stahlzylindern mit dem Modell von B10, einer Größe von 14 cm × 83 cm, einem internen Volumen von 10,1 l, einem Bruttogewicht von 14,7 kg, Nutzlast von 10 kg gefüllt. Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.

Produktgruppe : Halbleiterprozessmaterialien > Perfluorobutadien -Halbleiterprozessmaterialien

heiße Produkte

Mail an Lieferanten

*Fach:
*Zu:

Mr. Rees Cho
*E-Mail-Adresse:
*Nachrichten:

Ihre Nachrichten muss zwischen 20-8000 Zeichen sein